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JANコード

9784297115999

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2728

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発売日:2020年10月 / ジャンル:建築・理工 / フォーマット:本 / 出版社:技術評論社 / 発売国:日本 / ISBN:9784297115999 / アーティストキーワード:野尻一男

内容詳細:目次:１章　半導体集積回路の発展とドライエッチング技術/ ２章　ドライエッチングのメカニズム/ ３章　各種材料のエッチング/ ４章　ドライエッチング装置/ ５章　ドライエッチングダメージ/ ６章　新しいエッチング技術/ ７章　アトミックレイヤーエッチング（ＡＬＥ）/ ８章　ドライエッチング技術の今後の課題と展望

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野尻一男 技術評論社カイテイバン ハジメテノハンドウタイドライエッチングギジュツ ノジリ カズオ 発行年月：2020年10月24日 予約締切日：2020年08月27日 ページ数：200p サイズ：単行本 ISBN：9784297115999 野尻一男（ノジリカズオ） 1973年群馬大学工学部電子工学科卒業。1975年群馬大学大学院工学研究科修士課程修了。1975年（株）日立製作所入社。2000年ラムリサーチ（株）入社、取締役・CTOに就任。2019年独立し、ナノテクリサーチ代表として技術および経営のコンサルティングを行っている。1989年「有磁場マイクロ波プラズマエッチング技術の開発と実用化」で大河内記念賞を受賞。1994年「低温ドライエッチング装置の開発」で機械振興協会賞通産大臣賞を受賞。2019年DPS　Nishizawa　Awardを受賞（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） 1章　半導体集積回路の発展とドライエッチング技術／2章　ドライエッチングのメカニズム／3章　各種材料のエッチング／4章　ドライエッチング装置／5章　ドライエッチングダメージ／6章　新しいエッチング技術／7章　アトミックレイヤーエッチング（ALE）／8章　ドライエッチング技術の今後の課題と展望 本 科学・技術 工学 電気工学