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機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理

商品について

JANコード
9784320081543
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本 ISBN:9784320081543 近藤英一／著 出版社:共立出版 出版年月:2005年10月 サイズ:226P 21cm 工学 ≫ 機械工学 [ 機械工学その他 ] キカイ ザイリヨウケイ ノ タメ ノ マイクロ ナノ カコウ ノ ゲンリ 機械・材料系のための 登録日:2016/09/01 ※ページ内の情報は告知なく変更になることがあります。
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近藤　英一 共立出版キカイザイリョウケイノタメノマイクロナノカコウノゲンリ コンドウ　エイイチ 発行年月：2005年10月20日 予約締切日：2005年10月13日 ページ数：248p サイズ：単行本 ISBN：9784320081543 近藤英一（コンドウエイイチ） 1984年早稲田大学理工学部卒、1986年同大学院修了。川崎製鉄ハイテク研究所主任研究員、IMEC研究員（ベルギー）などを経て、山梨大学助教授（工博、京都大学）（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） 第1章　導入／第2章　真空と気体分子運動論／第3章　プラズマの基礎／第4章　物理蒸着法（PVD）／第5章　薄膜の形成過程／第6章　エッチング／第7章　フォトリソグラフィ／付録A　基礎定数表と真空の単位／付録B　材料の科学についてのノート／付録C　分布関数とマックスウェルーボルツマン分布／付録D　対数目盛と対数グラフ 本 科学・技術 工学 機械工学

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