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JANコード

9784627784918

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発売日:2011年03月 / ジャンル:建築・理工 / フォーマット:本 / 出版社:森北出版 / 発売国:日本 / ISBN:9784627784918 / アーティストキーワード:江刺正喜 / タイトルキーワード:ハジメテノメムス

内容詳細:最先端技術ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）の世界的権威である著者が、半導体技術に異分野技術を取り込んだＭＥＭＳをわかりやすく解説。目次:第１章　マイクロマシーニングとＭＥＭＳ（マイクロマシーニングとＭＥＭＳ/ ＭＥＭＳの歴史）/ 第２章　ＭＥＭＳの製作（パターニング/ エッチング/ 堆積と応力制御/ 接合/ 複合バランス/ 集積化/ パッケージングと組立/ 設計・評価）/ 第３章　ＭＥＭＳの要素（センサ/ アクチュエータ/ エネルギー源）/ 第４章　ＭＥＭＳの応用（自動車・家電応用/ 情報・通信・・・

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江刺正喜 森北出版ハジメテ ノ メムス エサシ,マサヨシ 発行年月：2011年03月 ページ数：230p サイズ：単行本 ISBN：9784627784918 江刺正喜（エサシマサヨシ） 1971年東北大学工学部電子工学科卒業。1976年東北大学大学院博士課程修了、東北大学工学部助手。1981年東北大学工学部助教授。1990年東北大学工学部教授。1995〜1998年東北大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー長。2006〜2009年東北大学大学院工学研究科付属マイクロ・ナノマシニング研究教育センター長。現在、東北大学原子分子材料科学高等研究機構（WPIーAIMR）教授。東北大学マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）センター長。半導体センサ、マイクロマシーニングによる集積化システム、MEMSの研究に従事し、研究開発において先導的な役割を果たしてきた（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） 第1章　マイクロマシーニングとMEMS（マイクロマシーニングとMEMS／MEMSの歴史）／第2章　MEMSの製作（パターニング／エッチング／堆積と応力制御／接合／複合バランス／集積化／パッケージングと組立／設計・評価）／第3章　MEMSの要素（センサ／アクチュエータ／エネルギー源）／第4章　MEMSの応用（自動車・家電応用／情報・通信応用／製造・検査応用／医療・バイオ応用／MEMSビジネス） 最先端技術MEMS（微小電気機械システム）の世界的権威である著者が、半導体技術に異分野技術を取り込んだMEMSをわかりやすく解説。 本 科学・技術 工学 電気工学 科学・技術 工学 機械工学