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商品について

JANコード

9784885522857

希望小売価格

4840

発売年月日

2014年03月16日

Y!での商品説明(ネオウィング Yahoo!店)

ナノインプリントの基礎とともに現状で最新のナノインプリント装置と関連部材、多様なデバイス応用についてわかりやすく解説。実際にナノインプリント技術に取り組む際に参考になる最新の研究成果を網羅している。

楽天での商品説明(楽天ブックス)

松井真二 平井義彦 電子情報通信学会 コロナ社BKSCPN_【高額商品】 ナノインプリント ギジュツ マツイ,シンジ ヒライ,ヨシヒコ 発行年月：2014年03月 ページ数：265p サイズ：単行本 ISBN：9784885522857 松井真二（マツイシンジ） 昭56阪大・基礎工・博士了。同年日本電気（株）入社。基礎研究所にて電子・イオンビームを利用したナノテクノロジー研究、平9（株）半導体先端テクノロジー基盤技術研究部にて先端電子ビーム描画装置開発リーダを経て、平10ー15姫路工大高度研教授、平16兵庫県立大高度研教授。電子・イオンビーム・ナノインプリントを利用したナノテクノロジー研究開発に従事。工博。電子情報通信学会、応用物理学会、精密工学会各会員 平井義彦（ヒライヨシヒコ） 昭54阪府大・工・電子卒。昭56同大学院・工・電子・修士了。同年松下電器産業（株）入社。中央研究所、半導体研究センターにてサブミクロンリソグラフィー、量子効果素子の研究を経て、平8ー15阪府大・工・機械システム助教授。平16同大学院工・電子物理教授。マイクロ・ナノリソグラフィーの研究に従事。工博。電子情報通信学会、応用物理学会、日本機械学会、精密工学会各会員（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） ナノインプリントと微細加工／ナノインプリントの物理化学とシミュレーション／熱ナノインプリント／UVナノインプリント／室温ナノインプリント／モールド技術／離型技術／装置技術／3次元化・積層技術／ナノ光学応用〔ほか〕 ナノインプリントの基礎とともに現状で最新のナノインプリント装置と関連部材、多様なデバイス応用についてわかりやすく解説。実際にナノインプリント技術に取り組む際に参考になる最新の研究成果を網羅している。 本 科学・技術 工学 電気工学